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電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)圖
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時(shí)間 : 2024-08-07 11:51 瀏覽量 : 182

電子顯微鏡(EM)是一種高分辨率的顯微鏡,能夠以電子束而不是光束來(lái)觀察樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

電子顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)包括以下幾個(gè)主要部分:
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電子源: 電子顯微鏡的核心是電子源,通常采用熱陰極或場(chǎng)發(fā)射電子槍。這個(gè)部分產(chǎn)生高能電子束,用于照射樣品。

電子透鏡系統(tǒng): 電子束通過(guò)一系列電子透鏡,包括凸透鏡、偏轉(zhuǎn)透鏡和物鏡透鏡。這些透鏡系統(tǒng)用于控制和聚焦電子束,使其能夠在樣品上產(chǎn)生高分辨率的投影。

樣品臺(tái): 樣品臺(tái)是樣品的支撐平臺(tái),通常具有多個(gè)軸向的微動(dòng)裝置,用于控制樣品在不同方向上的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn),以便觀察不同部位。

檢測(cè)系統(tǒng): 電子顯微鏡通常配備了多種檢測(cè)器,包括透射電子檢測(cè)器(Transmission Electron Detector)和掃描電子檢測(cè)器(Scanning Electron Detector)。這些檢測(cè)器捕捉經(jīng)過(guò)樣品后的電子束,產(chǎn)生顯微圖像。

顯微鏡柱: 這是一個(gè)支撐和封裝上述組件的結(jié)構(gòu),它通常包括各種透鏡和電磁設(shè)備,用于控制電子束的路徑和聚焦。

計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng): 電子顯微鏡通常配備了計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),用于控制儀器操作、數(shù)據(jù)采集和圖像處理。

真空系統(tǒng): 電子顯微鏡必須在真空環(huán)境中運(yùn)行,以防止電子束與氣體分子相互作用,影響圖像質(zhì)量。真空系統(tǒng)包括真空泵和密封結(jié)構(gòu)。

輔助設(shè)備: 這包括樣品制備設(shè)備,如切片機(jī)、薄膜制備設(shè)備、冷凍裝置等,用于準(zhǔn)備樣品以供電子顯微鏡觀察。

控制面板: 電子顯微鏡上配備了控制面板,供操作員控制儀器的各個(gè)參數(shù),如電子束強(qiáng)度、聚焦、對(duì)比度等。

電子顯微鏡的工作原理是利用電子波的波動(dòng)性質(zhì),其波長(zhǎng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于可見(jiàn)光的波長(zhǎng),因此具有極高的分辨率。這使得電子顯微鏡能夠觀察到比光學(xué)顯微鏡更小的細(xì)節(jié),例如原子和分子的結(jié)構(gòu)。

總之,電子顯微鏡是一種高級(jí)的顯微鏡技術(shù),具有出色的分辨率和成像能力,廣泛用于各種科學(xué)領(lǐng)域,包括材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)和化學(xué)等,以研究和觀察微觀世界中的結(jié)構(gòu)和現(xiàn)象。

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